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EJA压力变送器的原理简介

发布时间: 2011-06-02  点击次数: 1712次
EJA压力变送器的原理简介:
  EJA压力变送器由单晶硅谐振式传感器上的两上H形的振动梁分别将差压、压力信号转换成频率信号,送到脉冲计数器,再将两频率之差直接传递到CPU进行数据处理,经D/A转换器转换为与输入信号相对应的4~20mADC的输出信号,并在模拟信号上叠加一个BRAIN/HART数字信号进行通信。
  1、结构原理(如果有需要传感器原理结构图的可以与我)
  单晶硅谐振传感器的核必部分,即在一单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术(MEMS),分别在其表面的中心和边缘作成两个形状、大小完全一致的H形状的谐振梁(H型状谐振器有两个振梁),且处于微型真空腔中,使其即不与充灌液接触,又确保振动时不受空气阻尼的影响。
  2、谐振梁振动原理
  硅谐振梁处于由*磁铁提供的磁场中,与变压器、放大器等组成一正反馈回路,让谐振梁在回路中产生振荡。
  3、受力情况
  当单晶硅片的上下表面受到压力并形成压力差时将产生形变,中心处受至压缩力,边缘处受到张力,因而两个形状振梁分别感受不同应变作用,其结果是中心谐振梁受压缩力而频减少,边侧谐振梁因受张力而频率之差对应不同的压力信号。

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